BÀI GIẢNG - Oxy hóa nhiệt (TS. Lê Tuấn)

Giới thiệu công nghệ ô-xy hóa nhiệt được sử dụng nhiều trong lĩnh vực vi điện tử:

- Ô xy hóa nhiệt (đối với Silic)
- Giá trị các hệ số (B/A) vàB cho các trường hợp ô-xy hóa nhiệt khô và ẩm đối với Si
- Các bài tập ví dụ.

LINK DOWNLOAD

Giới thiệu công nghệ ô-xy hóa nhiệt được sử dụng nhiều trong lĩnh vực vi điện tử:

- Ô xy hóa nhiệt (đối với Silic)
- Giá trị các hệ số (B/A) vàB cho các trường hợp ô-xy hóa nhiệt khô và ẩm đối với Si
- Các bài tập ví dụ.

LINK DOWNLOAD

Chuyên mục: C. Bài giảng C. Bài giảng chuyên ngành Điện - Điện tử (Electrical & Electronic) C. Bài giảng kỹ thuật